探針測量是通過監(jiān)測精密探針劃過薄膜表面的偏移測量薄膜厚度和粗糙度，常常是不透明薄膜如金屬薄膜的其中一種測量方法。

KOSAKA 臺階儀（探針臺）具有以下特點(diǎn)：

二維／三維表面粗度解析及臺階測定，可實(shí)現(xiàn)高精度、高辨識能力及*的安全性。

用于平板顯示器、硅片、硬盤等的微細(xì)形狀臺階／粗度測定另外也可利用微小測定力來對應(yīng)軟質(zhì)樣品表面測定。

具備載物臺旋轉(zhuǎn)功能，便于定位下針位置。

高精度 • 高穩(wěn)定性 • 功能超群。

FPD 基板 • 硅片 • 硬盤等

微細(xì)形狀、段差、粗糙度等測量。